CleanMill 아르곤 이온 연마 시스템

전통적인 기계 연마 방식은 샘플 단면을 제조하는데, 단면에는 기계 손상과 연마재의 샘플 삽입으로 인한 오염이 불가피하게 존재한다.아르곤 이온 빔 절단 시료 제조를 사용하면 기계 손상과 표면 오염이 없는 평평한 단면을 제조할 수 있으며, 배터리 재료와 부품의 단면 시료 제조에 매우 적합하여 스캔 전자 현미경 구조 표징 분석을 진행할 수 있다.Thermo Scientific CleanMillTM은 배터리 단면 샘플에 완벽한 아르곤 빔 연마 방안을 제공하여 전자빔 민감 재료와 공기 민감 재료의 실제 상태에서의 SEM 이미징 및 표징 분석을 실현합니다.

Thermo Scientific CleanMillTM 아르곤 빔 단면 연마 시스템 (BIB-CP) 은 정확한 표징을 위해 양질의 효율적인 샘플 제조 방안을 제공하기 위해 설계되었습니다.표준 16keV 초고에너지 이온원은 연마 품질을 보장하기 위해 더 강한 사출 능력과 더 높은 연마 효율을 가지고 있다.이와 동시에 저에너지이온원은 정밀한 구조와 이온빔의 살사에 쉽게 손상되는 견본에 대한 무손상정포와 청결을 실현할수 있다.

많은 배터리 소재와 부품은 전자빔 민감성과 공기 민감성을 갖추고 있다.Thermo Scientific CleanMillTM은 CleanConnectTM과 호환되므로 Thermo Scientific IGST 워크플로우가 완벽합니다.CleanConnect 샘플 전송 시스템은 불활성 가스/진공에서 전자 현미경 샘플 창고로 샘플을 빠르게 옮길 수 있는 초고성비 통합 솔루션을 제공합니다.이 진공 잠금 솔루션은 직경이 25mm에 달하는 표준 샘플대를 사용하여 SEM/DualBeam 시스템에서 다른 샘플을 이동하는 작업을 크게 단순화합니다.샘플은 장갑 상자에서 CleanConnect 샘플 창고에 마운트되어 CleanConnect를 통해 CleanMill로 전송되어 단면 샘플 제조가 가능합니다.그런 다음 CleanMill에서 제조된 단면 샘플을 CleanConnect를 사용하여 미시적 구조 표징을 위해 Thermo Scientific SEM으로 전송합니다.전체 과정에서 샘플은 타성 기체 보호 상태에 있어 단면의 완전성을 확보한다.이 워크플로우는 샘플 이동 작업을 크게 간소화하고 결과 획득 속도를 높여 본진 상태에서 공기에 민감한 재료에 대한 구조 표징을 실현했다.

주요 이점

• 고속 연마 및 광택을 위한 고에너지 이온총

• 전용 90 ° 샘플대를 사용하여 단면 샘플 제조

• 샘플 회전 및 진동 작업을 위한 매개변수 설정 및 작업 자동화

• 공기 민감성 재료의 시료 제조가 가능하여 사이머의 불활성 가스 시료 이동 작업 프로세스(IGST) 개선

• 고해상도 CMOS 카메라 및 터치 스크린으로 샘플 연마 과정을 실시간으로 확인

• 저에너지 이온총을 옵션으로 장착하여 정교한 구조와 투사 손상에 취약한 시료에 대한 무손실 정포와 청결을 실현할 수 있다.

• 전자빔 민감 시료의 냉동 연마 시 자동 액체 질소 주입을 위한 냉대 옵션

Thermo Scientific CleanMill은 CleanConnect 및 전체 IGST 워크플로우와 호환되어 실제 상태에서 공기 민감한 재료에 대한 표징 분석을 실현합니다.

사양 매개변수

이온총 선택

표준 초고에너지 이온총, 가속 전압 연속 조정 가능

• 2 ~ 16 keV

• 이온 빔 전류 범위: 20 – 500A

• 사출 속도: > 500 m/hr

• 저에너지 이온총 옵션

• 가속 전압: 100eV – 2keV

• 자동화된 이온 소스 설정

이미징 시스템

고정 X10 확대 기능이 있는 고해상도 CMOS 카메라의 디지털 확대 기능으로 X120으로 연속 조정 가능

견본대

샘플 기울기: 0 ° ~ 180 °, 0.1 ° 증가 샘플 회전: 면내 360 ° 회전

샘플 흔들림: ± 1 ° 에서 ± 180 °, 1 ° / 단계로 면내 흔들림

샘플 받침대 종류와 적재 가능 사이즈

표준형 표면 광택 샘플 받침대

• 탑재 샘플 크기 Ø 30mm x 15mm CleanConnect 호환 샘플 트레이:

• 표면 광택

o 탑재 샘플 크기 Ø 28mm x 3mm

o 교환 가능한 샘플 받침 탑재 가능한 샘플 크기 Ø 20.5mm x 8.5mm

• 단면 광택

o 90° 샘플 받침: 적재 샘플 크기 10mm(길이) x 10mm(가로) x 3mm(높이)

진공 시스템

• 오일 분리막 없는 펌프 및 터보 분자 펌프 (필라니/패닝) 진공계 포함

가스 공급 체계

• 아르곤 가스 (순도 99.999%)

• 고정밀 가스 흐름 제어 시스템

컴퓨터 제어 시스템

• 손쉬운 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스(Touch GUI)

o 시스템 설정

o 연마 매개변수 설정

o 운영 제어

• Touch GUI Windows 11 시스템

옵션 액세서리

• 자동 주입 기능을 갖춘 액체 질소 냉각대, 중단 없는 냉동 연마 가능

• 샘플 조절 위치 추적 장치

• 기타 예비 부품 및 소모성 부품

• CleanConnect를 로드할 수 있는 장갑 상자 포트 기기

무상수리 및 교육

• 1년 무상수리

• 간단한 교육만으로 설계 단순화

• 사용 설명서가 포함된 사용자 안내서

설치 요구 사항

• 설치 포트 예약 (기타 첨부 파일은 이 포트를 공유할 수 없음)

• 환경: 일반 현미경과 동일한 요구 사항, 사전 설치 설명서 참조

• 기기의 오른쪽에 CleanConnect 이동 레버를 사용하기 위한 공간이 충분해야 함

• 시스템 크기: 70cm(가로) x 70cm(세로) x 61cm(가로)

CleanMill에서 제작한 NMC 음극극편 단면(Apreo 2S 이미징)