테트라클로로 실리콘 분석용 헬륨 이온 크로마토그래프

협상 가능업데이트05/09

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개요

기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.

제품 정보

제품 설명

테트라 클로로 실리콘 분석 헬륨 이온 크로마토그래프전자공업용 기체 중 흔적량 불순물의 검측을 적용하면 소검측 농도는 5ppb에 달한다.기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급 프로젝트를 수상하였다.

실리콘(SiHCl)₃) 함량(체적분수)/l0^-6≤		400	25
디클로로실리콘(SiH₂Cl₂) 함량(체적분수)/l0^-6≤		400	25
메틸 디클로로 실리콘(SiCl₂CH₄) 함량(체적분수)/l0^-6≤		200	50
금속원소 및 기타 원소 함량	(붕소+알루미늄) (B+Al) 함유량 / (µg/kg) ≤	——	0.1
	(인+비소) (P+As) 함량 / (µg/kg) ≤	——	0.3
	갈륨(Ga) 함량/(µg/kg)≤	——	0.5
	안티몬 (Sb) 함량 / (µg/kg) ≤	——	0.5
	인듐(In) 함량/(µg/kg)≤	——	0.5
	칼슘 (Ca) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	크롬 (Cr) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	철 (Fe) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	칼륨(K) 함량/(µg/kg)≤	1	0.5
	나트륨 (Na) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	니켈(Ni) 함량/(µg/kg)≤	1	0.5
	몰리브덴 (Mo) 함유량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	망간 (Mn) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	구리 (Cu) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	카드뮴(Cd) 함량/(µg/kg)≤	1	0.5
	코발트 (Co) 함량 / (µg/kg) ≤	1	0.5
	아연(Zn) 함량/(µg/kg)≤	1	0.5
	바나듐(V) 함량/(µg/kg)≤	1	0.5

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