반도체 열처리 공정에 사용되는 ppm급 미산소 측정 시스템

독일 MESA 미세 산소 측정 시스템, 반도체 생산 단계에 전용되는 열처리 공정.

독일 MESA 미세 산소 측정 시스템기체를 추출해 특수 측정실로 간 뒤 람다 프로브를 통해 안정적으로 통제된 온도에서 미세 산소 측정을 하는 정밀 시스템으로, 시뮬레이션 신호가 ppm 산소 함량에 대응하도록 출력할 수 있다.

범위: 0... 5 / 10 / 100 / 10000 ppm

정밀도: ±1% FS

이점: 4점 보정

출력: 0 (4)... 20mA 또는 0... 10V

생산지: 독일 (ISO 9001: 2015 인증)

적용 업종: 반도체

주요 고객: Mattson

독일 MESA 미세 산소 측정 시스템지르코늄 프로브 (Lambda 프로브) 설계를 사용하여 일정한 600 ℃ 로 측정할 수 있으며 용광로 내 온도의 영향을 받지 않고 Lambda 프로브의 작업 상태가 안정적이며 사용 수명이 다른 동종 제품보다 더 길고 실제 사용 수명은 10년까지 지속될 수 있다;

독일 MESA 미세 산소 측정 시스템각 Lambda 프로브에는 지능형 전원 출력의 측정 신호를 더욱 정확하게 만드는 고유한 영점 표류 계수 K1과 온도 보상 계수 K2가 있습니다.스레드 및 출력 유형을 선택할 수 있습니다.또한 RS232/RS485와 같은 인터페이스를 통해 측정 결과를 상위기에 연결하여 중앙 집중식 제어 기능을 구현할 수 있습니다.