의력 박통 계열 이온 사출

장비 이름: 전자동 이온 사출기 모델: ETD-800

원리: 이극 직류 사출

장비 이름: 이온 사출기 모델: ETD-900M

원리: 자기 제어 사출

자기 제어 사출 중, 운동 전자는 자기장에서 로렌즈의 힘을 받기 때문에, 그들의 운동 궤적은 구부러지거나 심지어 생산될 수 있다

나선형 운동은 그 운동 경로가 길어지기 때문에 작업 기체 분자와 충돌하는 횟수를 증가시켜 플라즈마 밀도를 증가시켜 자기 제어 사출 속도가 크게 향상되고 낮은 사출 전압과 기압 아래에서 작업할 수 있다.이와 동시에 여러차례의 충돌을 거쳐 에네르기를 상실한 전자가 양극에 도달했을 때 이미 저에너지전자로 변하여 기판을 과열시키지 않는다.

ETD-800 매개 변수:

호스트 사양: 260mm × 307mm × 260mm (W × D × H)

전원 사양: 220V/50HZ

표적(상부 전극): 50mm×0.1mm(D×H)

표적: Au

진공 시료실: 붕소규산염 유리 115mm×100mm(D×H)

타이머: zui 시간: 3600S

기계식 펌프: 1L/S

zui 고전압: -1200 DCV

ETD-900M 매개 변수:

호스트 사양: 300mm×360mm×380mm(W×D×H)

표적(상부 전극): 50mm×0.1mm(D×H)

표적: Au(표준)

견본실: 붕소규산염유리 160mm×120mm(D×H)

표적 크기: F50mm

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4X10-2 mbar

이온 전류계: zui 큰 전류: 50mA

타이머: zui 시간: 0-360S

마이크로 진공 밸브: 3mm 호스 연결 가능

액세스 가능한 가스: 여러 가지

zui 고전압: -1600 DCV

기계식 펌프: 표준 구성 2L/S(국산 VRD-8)

특징 및 용도:

ETD-800 용도:

선글라스 실험실에 적용되는 스캐닝 전자현미경(SEM) 샘플 제조.

특징:

서로 다른 표적재(금, 백금, 은 등)를 교체해 초미세먼지 코팅을 할 수 있다.

원클릭 조작으로 사용이 편리하다.

ETD-900M 용도:

선글라스 실험실에 적용되는 스캐닝 전자현미경(SEM) 시료 제조, 비전도체 재료 실험 전극 제작.

특징:

1. 간단하고 경제적이며 믿을 만하며 외관이 정교하다.

2. 사출 전류와 진공실 압력을 조절하여 도금막의 속도와 입자의 크기를 제어할 수 있다.

3. SETPLASMA 수동 부팅 버튼은 미리 압력과 사출 전류를 설정하여 필름에 불필요한 손상을 초래하지 않도록 한다.

4, 진공 보호는 진공이 너무 낮아 설비의 합선이 생기는 것을 피할 수 있다.

5. 동시에 서로 다른 표적재 (금, 백금, 이리듐, 은, 구리 등) 를 교체하여 더욱 초미세먼지의 코팅에 도달할 수 있다.

6. 서로 다른 타성 기체를 통해 더욱 깨끗한 코팅에 도달한다.